原子光谱分析是将样品蒸发、原子化/离子化、激发，然后将其产生的辐射引进光谱仪进行检测的过程，是检测无机元素的zui佳方法。对于测定元素成分和含量的分析，如工业生产过程中的冶炼炉前分析、地质勘探测定矿石中的元素含量、材料研制中元素成分的分析等，原子光谱分析起到不可替代的作用。
　　原子吸收光谱仪利用待测元素所产生的基态原子对其特征谱线的吸收程度来进行定量分析的方法。原子吸收光谱仪的光源是空心阴极灯，检测的样品是溶液。 X射线荧光光谱仪样品可以是固体、粉末、熔融片，液体等，分析对象适用于炼钢、有色金属、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行业样品。发射源是Rh靶X光管，尽管二者都是把物质激发后检测其荧光，但二者的区别很大，从大的方面看主要有两点：

　　一、激发光源不同。

      原子荧光用的光源很多，如各种激光等，但很少见有用X-射线的；而X-射线荧光则是用X-射线作激发光源。

　　二、用途不同。

      原荧主要用来作定量分析，尤其是金属元素的定量分析；而X荧光主要用来作定性分析和结构分析。当然二者的仪器构造、使用方法、检测范围、样品制备等等都不一样。

　　三、两者的结构与所用的部件基本相同, 差别在于：

　　① 为避免激发辐射进人检测器影响原子荧光信号的检测,原子荧光光谱仪的检测器与激发光束不在同一直线上, 通常成直角配置;
　　② 原子吸收光谱分析是测量入射辐射光强与透射辐射光强的比值, 而原子荧光光谱分析是直接测量与交光激发光源强度成正比的原子荧光强度, 为
　　③获得zui大的辐照立体角, 许多原子荧光光谱仪不用分光部件。
　　原子荧光光谱谱线相对简单，元素间谱线重叠较少，所以原子荧光光谱仪的光路系统通常较为简单，当采用蒸气发生法时，只有能形成氢化物及形成原子蒸气的元素进入原子化区，可以采用非色散系统，因此仪器的光学系统简单、结构紧凑，易于实现商品化和小型化。